ZMS400 桌面式 超声扫描显微镜

轻量机型 —— 桌面式、操作与维护简便。采用*特的同步扫描结构，相比于S100机型，大幅降低整机尺寸和重量，仍能保持较高的扫描效率。

主要配置：

1、轻量化扫描机头；

2、桌面式一体化整机；

3、全封闭防护；

4、**夹具、一键校准、远程协助。

应用领域

高效率—— 根据20/80原则，车间现场80%的批量工件仅需做常规快速抽检，不需要做详细分析，因此可以使用S400机型达到检测。用于半导体、集成电路、低压电器等行业的生产线的制程管控。适用于车间现场或小型理化实验室。

产品参数

1、工作电源：220V/50Hz，1KW；

2、较大扫描范围：200mm×100mm×100mm；

3、整机尺寸：400mm×500mm×500mm；（标配）

4、探头频率范围：1~50MHz；（标配，可升级至230MHz）；

5、推荐图像分辨率：0.5um ~ 4000um；

6、典型扫描耗时：<45s （测试条件：扫描区域10mmX10mm，分辨率50um)；

7、较大扫描速度：300mm/s；较大扫描加速度：5m/s2；

8、运动台定位精度：X/Y向<±0.5um，Z向<±10um；重复定位精度：X/Y向<±0.01mm，Z向<±0.02mm。

9、采样频率：25~250MHz；（标配，可升级至1.5GHz）；

10、每通道可调增益：-13~66dB;（标配，可升级）;

11、脉冲重复频率：5kHz；（标配，可升级）。